招标项目编号:1495-254thhrlab04
招标范围:磁退火炉作为磁敏感薄膜热处理的核心装备,将支撑科研项目的磁性能调控,需具备多片晶圆批量处理能力(≥35片8英寸晶圆同步退火)、精确可控的磁场环境(0-3T连续可调)、高真空腔体条件(≤10-6 Torr)、均匀稳定的温场控制(±1℃),以实现薄膜晶体结构优化、磁各向异性增强及灵敏度提升,为高一致性磁敏感器件的大规模制备提供可靠工艺保障。
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招标人:北京怀柔实验室
开标时间:2025-10-23 09:30
公示开始时间:2025-10-28 16:49
评标公示截止时间:2025-10-31 17:00
中标候选人名单:
| 候选人排名 | 投标商名称 | 制造商 | 制造商国别及地区 |
|---|---|---|---|
| 1 | FD&S INC. | Futek Furnace Inc. | 日本 |